光學(xué)微電子凈化工程又稱清凈室或無(wú)塵室，目前已是精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)制造、液晶制造、線路板制造和醫(yī)藥、生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。光電車間凈化工程是指不同級(jí)別電子廠凈化車間或電子實(shí)驗(yàn)室的半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。

近幾年來(lái)，因技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求越發(fā)迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目。按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，凈化級(jí)別從?10-30?萬(wàn)級(jí)。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品制作的質(zhì)量。

一、光學(xué)微電子凈化工程一般包括哪些功能分區(qū)：

1.潔凈生產(chǎn)區(qū)

2.管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

3.潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

二、電子潔凈實(shí)驗(yàn)室凈化標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)：

根據(jù)電子潔凈室（區(qū)）空氣潔凈級(jí)別，不同等級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)如下：

① 百級(jí)電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為3500每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為0、微生物最大允許數(shù)浮游菌為5每立方米、沉降菌為1。

② 千級(jí)電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為350000每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為2000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為100每立方米、沉降菌為3。

③ 十萬(wàn)級(jí)電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為3500000每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為20000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為500每立方米、沉降菌為10。

④ 三十萬(wàn)級(jí)電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為10500000每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為60000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為1000每立方米、沉降菌為15。

三、光學(xué)微電子凈化工程換氣參數(shù)

1. 換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)凈化≥15次；萬(wàn)級(jí)凈化≥20次；千級(jí)凈化≥30次

2. 平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)為0.3-0.5m/s

3. 噪聲：≤65dB(A)

4. 新風(fēng)補(bǔ)充量：新風(fēng)補(bǔ)充量是總風(fēng)量的10%-30%

5. 照度：300LX

6. 壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa

7. 溫度：冬季＞16℃；夏季＜26℃；允許波動(dòng)范圍為±2℃

7. 濕度：GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜，電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

四、電子潔凈車間實(shí)驗(yàn)室通用結(jié)構(gòu)材料：

1. 送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫有良好效果的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

2. 高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

3. 地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

4. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

五、西遞電子廠/電子實(shí)驗(yàn)室凈化空調(diào)方案

方案一:目前來(lái)說(shuō)是最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如初效過(guò)濾段、混合段、表冷段、中效過(guò)濾段、二次回風(fēng)段(或中間段)加濕段、加熱段、風(fēng)機(jī)段等。其中冷源主要由冷水機(jī)組提供。

方案二:相較于方案一，方案二是比較簡(jiǎn)單的潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)方案。不僅可以大大地縮小機(jī)房的面積，還可以讓水冷柜機(jī)根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內(nèi)或機(jī)房?jī)?nèi),同時(shí)還可以將增壓風(fēng)柜布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。

方案三：主要用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車間,用簡(jiǎn)易空調(diào)方案。可直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。